107 ZPO N 26). Gerichtskosten sind dem Kanton bei pflichtgemässer Ermessensausübung dann zu überbinden, wenn sie ausschliesslich durch klar fehlerhafte und kostenwirksame Handlungen oder Entscheidungen von Angestellten oder Mitgliedern richterlicher Behörden verursacht worden sind. Darunter fallen z.B. Rechtsmittelverfahren gegen Entscheide, die allein durch ein fehlerhaftes Vorgehen der unteren Instanz verursacht worden sind (BSK ZPO-Rüegg, Art. 107 ZPO N 11). Analog rechtfertigt es sich im Fall einer gutgeheissenen Rechtsverzögerungsbeschwerde, die Kosten des Rechtsmittelverfahrens dem Kanton aufzuerlegen (BK ZPO-Sterchi, Art. 107 ZPO N 26a).