Das Verfahren bei der Erhebung der Quellensteuer folgt dem Grundsatz der Selbstveranlagung. Der Schuldner der steuerbaren Leistung ist dabei verpflichtet, von der Leistung die vom Empfänger geschuldete Steuer direkt abzuziehen und der Steuerbehörde zu überweisen. Die Steuerbehörde, welcher bei der Erhebung der Quellensteuer eine Kontroll- und Aufsichtsfunktion zukommt, prüft die Veranlagung nachträglich und nimmt allenfalls eine Berichtigung vor. Im Regelfall erfolgt keine Entscheidung durch die Steuerbehörde.