d) Bei komplexen Vorhaben ist es zuweilen unumgänglich, dass der Grundsatzentscheid über die Zulässigkeit eines Vorhabens vor dem Entscheid über weitere Bewilligungen getroffen werden muss, weil es unmöglich ist, alle Gesichtspunkte, die Gegenstand einer Bewilligung bilden, in ein und demselben Entscheid zu behandeln. Eine solche Aufteilung ist zulässig, sofern dadurch die erforderliche materielle und soweit möglich formelle Koordination der Entscheide nicht vereitelt wird. Das setzt namentlich voraus, dass in der ersten Stufe der Prüfung alle Aspekte behandelt werden, die in der zweiten Stufe nicht mehr in Frage gestellt werden dürfen.