Unter diesen Umständen und mit Blick auf die Tatsache, dass sich die Einsprecher wiederholt mit der nachgesuchten Biogasanlage auseinandersetzen mussten, deren Komplexität den Beizug eines Rechtsvertreters rechtfertigte, wäre es vorliegend unbillig, die Auslagen vollständig auf die obsiegenden Einsprecher abzuwälzen, weshalb sie ausnahmsweise auch für das Einspracheverfahren zu entschädigen sind. Mithin ist die Abweisung des Kostenbegehrens der Rekurrenten 2 für das dritte Einspracheverfahren aufzuheben.