Die Beklagte hat dies stets bestritten. Es ist nachvollziehbar, dass während dieses streitigen Verfahrens noch keine Rechnungstellung erfolgte. Schliesslich erstellte die Klägerin am 26. Oktober 2009 die Schlussrechnungen für die drei Aufenthalte mit dem Tarif über Fr. x. Die Forderung war - abgesehen von der Höhe des Tarifs und der grundsätzlichen Frage der Indikation - stets unbestritten und insofern liquid. Die nachfolgende Rechnungsstellung ändert am Bestand und der Berechtigung der Forderung nichts. Insofern aber die Klägerin einen Zins von 5% vom Gesamtbetrag seit 1. Januar 2007 verlangt, ist dem Begehren nicht zu folgen. Das am 1. Januar 2003 in Kraft getretene ATSG sieht in Art.