Gegen diesen sehr hohen Betrag wehrt sich die Beschwerdeführerin 1 zu Recht. Zwar ist nicht von der Hand zu weisen, dass das vorinstanzliche Verfahren sowohl rechtlich als auch vom Sachverhalt her aufwändig war. Auf der anderen Seite ist aber zu berücksichtigen, dass der vorinstanzliche Entscheid vom 16. August 2004 - wie das Verwaltungsgericht mit Zwischenentscheid vom 20. Juni 2005 (amtl. Bel. 20) feststellte - in Verletzung wesentlicher Verfahrensvorschriften zustande kam. Hätte das Verwaltungsgericht damals an Stelle eines Zwischenentscheides einen Endentscheid gefällt, hätte der vorinstanzliche Entscheid mit entsprechenden Kostenfolgen aufgehoben werden müssen.