EVG-Urteil I 328/03 vom 23.10.2003 E. 4.2 mit Hinweisen).
3.2. Kann mit der Rechtsverzögerungs- oder Rechtsverweigerungsbeschwerde – wie dargelegt – einzig der Erlass einer anfechtbaren Verfügung verlangt werden, ist vorab festzustellen, dass auf die Beschwerde auch gegen die Ausgleichskasse insoweit nicht einzutreten ist, als die sofortige Auszahlung der Prämienverbilligung beantragt wird. Die Auszahlung der Prämienverbilligung erfolgt ohnehin nicht an die Beschwerdeführer selbst, sondern an deren jeweilige Krankenversicherer (vgl. § 20 Abs. 1 PVG).