Werden sie nicht angefochten, so erwachsen sie in Rechtskraft und sind folglich weder unwirksam noch inexistent. Nichtigkeit, d.h. absolute Unwirksamkeit einer Verfügung, setzt voraus, dass diese mit einem tiefgreifenden und wesentlichen Mangel behaftet ist, dieser schwerwiegende Mangel offensichtlich oder zumindest leicht erkennbar ist und zudem die Rechtssicherheit durch die Annahme der Nichtigkeit nicht ernsthaft gefährdet wird (BGE 137 I 273 E. 3.1, mit Hinweisen). Inhaltliche Mängel einer Entscheidung führen nur ausnahmsweise zur Nichtigkeit.