Deshalb ist unerheblich, ob die Nichtigkeit rechtzeitig bzw. überhaupt gerügt wird. 2.1. Die Nichtigkeit einer Verfügung bildet die Ausnahme und ist nur in seltenen Fällen von qualifizierter Fehlerhaftigkeit anzunehmen. Ob Nichtigkeit vorliegt, bestimmt sich dabei nach der so genannten Evidenztheorie (vgl. BGE 116 Ia 215 E. 2c) Danach müssen kumulativ drei Voraussetzungen erfüllt sein: 1. Es muss ein schwerwiegender Rechtsfehler vorliegen; 2. der Fehler muss zudem offenkundig oder zumindest leicht erkennbar sein; 3. die Annahme der Nichtigkeit darf nicht zu einer ernsthaften Gefährdung der Rechtssicherheit führen.