13 VwVG) zur Verzögerung des Verfahrens beigetragen hat, kann nicht von einer unzulässigen Rechtsverzögerung gesprochen werden. Die REKO HM hat bereits in ihrem (angefochtenen) Urteil vom 28. Januar 2005 im Verfahren HM 04.063 festgehalten, dass aus dem zögerlichen Vorgehen des Instituts nicht geschlossen werden kann, es sei stillschweigend eine provisorische Herstellungsbewilligung erteilt worden. Ebenso wurde im erwähnten Urteil dargelegt, dass die Beschwerdeführerin nicht darauf vertrauen durfte, dass eine Betriebsbewilligung erteilt werden würde.