Das Zwangsmassnahmengericht hielt am gewählten Vorgehen fest und wies die erwähnten Anträge ab, verlängerte aber die Frist für die Markierung der Daten bzw. die Rückgabe der Festplatte mehrmals. Letztlich markierten neben A.________ auch B.________ und die C.________ AG Daten auf der Festplatte, wobei sie ausdrücklich an ihrer Kritik festhielten. E.c. Am 1./2. Februar 2022 sichtete das Zwangsmassnahmengericht die von A.________ und B.________ sowie der C.________ AG auf der Festplatte markierten Daten und entschied, welche davon zu entsiegeln und der Staatsanwaltschaft herauszugeben seien. Die drei Betroffenen und die Staatsanwaltschaft waren nicht anwesend.