E.
E.a. Im Hinblick auf die Triage der elektronischen Daten hatte das Zwangsmassnahmengericht bereits mit Verfügung vom 24. November 2020 Frist angesetzt, um Anwaltskorrespondenz und offensichtlich Irrelevantes mit Stichworten und/oder Speicherstellen zu benennen. A.________, B.________ und die C.________ AG hatten darauf weitere Stellungnahmen eingereicht. Am 10. Mai 2021 führte das Zwangsmassnahmengericht eine Instruktionsverhandlung durch, an der es A.________, B.________ und den Vertreter der C.________ AG über das für die Triage der elektronischen Daten beabsichtigte Vorgehen informierte.