117 V 208, 210 E. 3b). Nach der Rechtsprechung zu Art. 16 Abs. 1 AHVG behält eine fristgerecht und formgültig eröffnete Beitragsverfügung ungeachtet ihres späteren rechtlichen Schicksals ihre verwirkungsausschliessende Kraft, ob sie nun in Rechtskraft erwächst oder vom Richter oder wiedererwägungsweise von der Verwaltung nachträglich aufgehoben und durch eine andere ersetzt wird. Es dürfen jedoch mit der berichtigenden Verfügung keine höheren als die fristgerecht verfügten Beiträge einverlangt werden (Urteil des Bundesgerichts 9C_347/2013 vom 3. Juli 2013 E. 4 mit Hinweis auf 9C_459/2011 vom 26. Januar 2012 E. 6.3.1 mit weiteren Hinweisen).