Vielmehr müsse folgende Rangordnung gelten: Ergehe wie im vorliegenden Fall eine provisorische Beitragsverfügung und würden dieser die massgeblichen Berechnungsgrundlagen (provisorischer Beitragsperimeterplan und provisorische Kostenverteiltabelle) beigefügt, so sei diese Verfügung innert zehn Tagen beim Enteignungsgericht anzufechten, sofern und soweit die verfügte Beitragspflicht beanstandet werde. Beitragsperimeterplan und Kostenverteiltabelle seien Grundlage der Verfügung und müssten im Rahmen der Anfechtung gerügt werden, wenn die Betroffenen nicht damit einverstanden seien. Eine Anfechtung gemäss § 96a Abs. 1 lit.