Verfügung betreffend den Betriebsbewilligungsentzug infolge Unrechtmässigkeit aufgehoben.37 Bis zur Rechtskraft des Beschwerdeentscheids bzw. bis zur rechtskräftigen Aufhebung der vorinstanzlichen Verfügung betreffend den Entzug der Betriebsbewilligung war der kantonale Anteil zur Abgeltung stationärer Leistungen nicht geschuldet. Entsprechend konnte sich die Vorinstanz bis zu diesem Zeitpunkt auch nicht in Verzug befinden.38