Das Kostendeckungsprinzip gilt für Verwaltungsgebühren (inklusive Kanzlei- und Kontrollgebühren) uneingeschränkt (Häfelin/Müller/Uhlmann, Rz. 2782). Nach dem Äquivalenzprinzip muss die Höhe der Gebühr im Einzelfall in einem vernünftigen Verhältnis stehen zum Wert, den die staatliche Leistung für die Abgabepflichtigen hat (Häfelin/Müller/Uhlmann, Rz. 2786). Zulässig sind Pauschalierungen aus Gründen der Verwaltungsökonomie. Dabei ist nicht notwendig, dass die Gebühren in jedem Fall genau dem Verwaltungsaufwand entsprechen; sie sollen indessen nach sachlich vertretbaren Kriterien bemessen sein und nicht Unterscheidungen treffen, für die keine vernünftigen Gründe ersichtlich sind.