c) Die Rechtsfolge bei Verfahrensfehlern richtet sich nach dem Schweregrad des Fehlers. Nichtigkeit einer Verfügung oder eines Entscheids wäre nur bei besonders schwerwiegenden Mängeln anzunehmen, die offensichtlich oder zumindest leicht erkennbar sind. Vorausgesetzt ist ferner, dass die Nichtigkeitsfolge die Rechtssicherheit und den Vertrauensschutz nicht ernsthaft gefährden würde.60 Gehörsverletzungen führen nur in qualifizierten Fällen zur Nichtigkeitsfolge. Einfache Gehörsverletzungen haben hingegen grundsätzlich zur Konsequenz, dass die davon betroffene Person ihren Gehörsanspruch auf dem Rechtsmittelweg geltend machen kann.61