d) Als neue ortsfeste Anlagen müssen die Wärmepumpen die Planungswerte gemäss Art. 25 Abs. 1 USG i.V.m. Art. 7 Abs. 1 Bst. b und Anhang 6 LSV einhalten. Darüber hinaus müssen die Lärmimmissionen im Rahmen der Vorsorge so weit begrenzt werden, als dies technisch und betrieblich möglich sowie wirtschaftlich tragbar ist (Art. 11 Abs. 2 USG i.V.m. Art. 7 Abs. 1 Bst. a LSV). Auch wenn die Planungswerte eingehalten sind, ist somit stets anhand der in Art. 11 Abs. 2 USG i.V.m. Art. 7 Abs. 1 Bst. a LSV genannten Kriterien im Einzelfall zu prüfen, ob im Rahmen des Vorsorgeprinzips zusätzliche Emissionsbegrenzungen erforderlich sind.