c) Bei der Gebühr für das Baubewilligungsverfahren handelt es sich um eine Verwaltungsgebühr. Verwaltungsgebühren unterstehen insbesondere dem Äquivalenzprinzip. Demnach darf die erhobene Abgabe im Einzelfall zum objektiven Wert der Leistung nicht in ein offensichtliches Missverhältnis treten und muss sich in vernünftigen Grenzen bewegen. Das Äquivalenzprinzip stellt die gebührenrechtliche Ausgestaltung des Verhältnismässigkeitsgrundsatzes dar.15