b) Verwaltungsgebühren unterstehen dem Legalitäts-, Kostendeckungs- und Äquivalenzprinzip. Voraussetzung für die Erhebung einer Verwaltungsgebühr ist eine hinreichende gesetzliche Grundlage (Legalitätsprinzip). Nach dem Kostendeckungsprinzip sollen die erhobenen Verwaltungsgebühren die Gesamtkosten des Gemeinwesens für den betreffenden Verwaltungszweig oder die betreffende Einrichtung decken, bzw. nicht oder nur geringfügig übersteigen.39 Nach dem Äquivalenzprinzip darf die erhobene Abgabe im Einzelfall zum objektiven Wert der Leistung nicht in einem offensichtlichen Missverhältnis stehen und muss sich in vernünftigen Grenzen bewegen.40