d) Die Beschwerdeführenden machen geltend, die Verfahrenskosten würden dem Kostendeckungs- und dem Äquivalenzprinzip widersprechen. Gemäss bundesgerichtlicher Rechtsprechung haben diese beiden Prinzipien gewissermassen die Funktion eines Surrogats für eine ungenügende gesetzliche Grundlage. Ist die Einhaltung dieser Prinzipien überprüfbar, so genügt auch eine formell-gesetzliche Grundlage, die die sonst geltenden Mindestanforderungen nicht erfüllt.