2 die oberinstanzlichen Kosten insgesamt aufzuerlegen und ihm sei je in entsprechendem Umfang eine Entschädigung für die erst- und oberinstanzlichen Anwaltskosten zuzusprechen bzw. es sei je von einer Rückzahlungspflicht der amtlichen Entschädigung im entsprechenden Umfang der erst- und oberinstanzlichen Aufwendungen im Fall einer Verurteilung abzusehen. Das Zwangsmassnahmengericht verzichtete am 21. Mai 2024 (Eingang Beschwerdekammer: 23. Mai 2024) unter Verweis auf die Ausführungen im angefochtenen Entscheid auf eine Stellungnahme.