CHF 500.00 bis 5'000.00. Innerhalb dieses Rahmentarifs bemisst sich der Parteikostenersatz nach dem in der Sache gebotenen Zeitaufwand und der Bedeutung der Streitsache und der Schwierigkeit des Prozesses (Art. 41 Abs. 3 des Kantonalen Anwaltsgesetzes [KAG; BSG 168.11]). Der Streitgegenstand des Beschwerdeverfahrens war auf die Frage der Rechtsverzögerung begrenzt, was weder sachverhaltsmässig noch rechtlich einen grossen Aufwand bedeutet. Das bestätigt auch die kurze Beschwerdeschrift. Die Entschädigung hat demzufolge im untersten Bereich des Rahmentarifs zu liegen.