17 teilende Gericht festgesetzt (Art. 135 Abs. 2 StPO). Für die Hälfte der im vorliegenden Verfahren angefallenen Entschädigung besteht keine Nach- oder Rückzahlungspflicht. 18 Die Beschwerdekammer in Strafsachen beschliesst: 1. Es wird festgestellt, dass das Kantonale Zwangsmassnahmengericht das rechtliche Gehör des Beschwerdeführers verletzt hat. 2. Die Beschwerde wird abgewiesen, soweit darauf eingetreten wird.