Anhaltspunkte für eine rechtsmissbräuchliche Berufung auf die Missachtung der Zustellvorschriften liegen demnach nicht vor. Indem das Zwangsmassnahmengericht die Stellungnahme als verspätet taxierte und nicht in seinem Entscheid berücksichtigte, hat es das rechtliche Gehör des Beschwerdeführers verletzt. Eine Gehörsverweigerung führt in aller Regel lediglich zur Anfechtbarkeit und nicht zur Nichtigkeit eines Entscheides, was insbesondere gilt, wenn die betroffene Person ihre Parteirechte anderweitig geltend machen kann (Urteil des Bundesgerichts 1C_268/2018 vom 12. Juli 2019 E. 4.2 mit zahlreichen Hinweisen).