Von einer Rückweisung wegen der Verletzung des rechtlichen Gehörs wird deshalb abgesehen. Die Gehörsverletzung ist bei der Kostenliquidation entsprechend zu berücksichtigen. Zudem wird dem Prozessfehler Rechnung getragen, indem im Dispositiv die Gehörsverletzung festgestellt wird (vgl. Urteil des Bundesgerichts 1B_291/2013 vom 17. September 2013, E. 4.5).