Es wird somit eine Verletzung des Beschleunigungsgebots festgestellt, welche nach einschlägiger Rechtsprechung ins Dispositiv aufzunehmen ist. Auch ist ihr bei der Auferlegung von Verfahrenskosten angemessen Rechnung zu tragen (BGE 139 IV 94 E. 2.4 [= Pra 2013 Nr 70], 137 IV 92 E. 3.2.3). Damit wird die festgestellte Verfahrensverschleppung ausreichend sanktioniert. 6.3 Hinsichtlich der vom Zwangsmassnahmengericht bewilligten Verlängerung bis 25. August 2017 ist festzuhalten was folgt: