In Fällen mit hohem Streitwert und starrem Tarif, der die Berücksichtigung des Aufwandes nicht erlaubt, kann die Belastung allerdings unverhältnismässig werden, namentlich dann, wenn die Gebühr in Prozenten oder Promillen festgelegt wird und eine obere Begrenzung fehlt (BGE 139 III 334 E. 3.2.4; 130 III 225 E. 2.3; Urteile des BGer 5A_391/2020 vom 2. Dezember 2020 E. 7.2; 5A_763/2018 vom 1. Juli 2019 E. 8.4.1.2). 11.2.2