Das Äquivalenzprinzip konkretisiert das Verhältnismässigkeitsprinzip sowie das Willkürverbot. Demnach muss die Höhe der Gebühr im Einzelfall in einem vernünftigen Verhältnis stehen zum Wert, den die staatliche Leistung für die Abgabepflichtigen hat (U. Häfelin/G. Müller/F. Uhlmann, Allgemeines Verwaltungsrecht, a.a.O., N 2786 ff.).