Gleichwohl bildet die Entschädigung materiell und formell eine Einheit (Hess/Weibel, a.a.O., Band I, Art. 19 EntG N 13; Erich Zimmerlin, Baugesetz des Kantons Aargau, Kommentar, 2. Auflage, Aarau 1985, § 193 aBauG N 1a; BGE 129 II 420 Erw. 3.2.1 in: Die Praxis [Pra] 2005 S. 280 mit weiteren Hinweisen).