Eine Verwirkung des Rechts der Behörden, die Bewilligungsfähigkeit zu prüfen und den Rückbau anzuordnen, ist daher nicht eingetreten. 3.3.2 Unbegründet ist auch die Auffassung des Beschwerdeführers, der 1998 vorhandene Pferdebestand und die dafür bis 1998 erstellten Bauten und Anlagen seien, wenn nicht formell, so doch zumindest materiell rechtmässig gewesen und damit besitzstandsgeschützt. Grundvoraussetzung jeder Besitzstandsgarantie ist, dass die bestehende Baute oder Anlage ursprünglich rechtmässig erstellt wurde oder später rechtmässig geworden ist. Rechtmässig ist eine Baute, wenn sie formell oder materiell rechtmässig war oder ist.