Der Beschwerdeführer erkannte denn auch
richtig, dass das Bundesgericht mit seinem Urteil die Sache zur Neuverlegung der Kosten- und Entschädigungsfrage des (vorinstanzlichen) Beschwerdeverfahrens an die Beschwerdekammer in Strafsachen des Obergerichts zurückgewiesen hat. Zur Frage, ob das Zwangsmassnahmengericht des Kantons Aargau in seinem Erledigungsentscheid die Kosten- und
Entschädigungsfrage hätte regeln müssen, lässt sich dem Urteil des Bundesgerichts aber nichts entnehmen, was die Sichtweise des Beschwerdeführers stützen könnte (vgl. hierzu Beschwerde Ziff. 4.5).

2.6.
Damit erweist sich die Beschwerde insgesamt als unbegründet, weshalb
sie abzuweisen ist.