Eine Verletzung des Äquivalenzprinzips wird von den Beschwerdeführerinnen nicht gerügt und sticht dem Verwaltungsgericht auch nicht ins Auge. Zweifelsohne haben Inspektionen als Voraussetzung für die Erteilung von Bewilligungen zur Herstellung und zum Vertrieb von Arzneimitteln einen wirtschaftlichen Nutzen für den Bewilligungsinhaber. Wie hoch dieser Nutzen für die Beschwerdeführerinnen ist, müsste anhand einer Betriebsanalyse ermittelt werden.