Nach dem Äquivalenzprinzip muss die Höhe der Gebühr im Einzelfall in einem vernünftigen Verhältnis stehen zum Wert, den die staatliche Leistung für die Abgabepflichtigen hat. Der Wert der staatlichen Leistung bemisst sich entweder nach dem – nicht notwendigerweise wirtschaftlichen – Nutzen, den diese dem Pflichtigen bringt, oder nach dem Kostenaufwand -9- der konkreten Inanspruchnahme des Gemeinwesens im Verhältnis zum gesamten Aufwand des betreffenden Verwaltungszweiges (HÄFELIN/MÜLLER/ UHLMANN, a.a.O., Rz. 2786 und 2788, je mit Hinweisen).