Ein schützenswertes Vertrauen in den Bestand einer Verfügung setzt jedoch voraus, dass diese formell rechtskräftig geworden ist. Erst dann vermag sie in der Regel die mit ihr angestrebte konkrete verwaltungsrechtliche Rechtsbeziehung allseits rechtsverbindlich zu begründen. Ein Zurückkommen auf den Entscheid durch die Behörde nach diesem Zeitpunkt soll deshalb nur noch ausnahmsweise möglich sein. Der Rechtssicherheit und dem Vertrauensschutz kommen daher bis zum Eintritt der Rechtskraft der Verfügung nicht die gleiche Bedeutung zu wie nach diesem Zeitpunkt.