Die Reaktion der Vorinstanz mit der raschen Zustellung des Entscheids nach Eingang der Rechtsverzögerungsbeschwerde zeigt, dass einem sofortigen Entscheid nichts entgegenstand. Das BVU hat sich im Schreiben vom 17. Mai 2013 für die "ungewöhnlich lange Dauer seit der letzten Instruktionsanordnung bis zum Entscheid" zu Recht entschuldigt. Die Rüge ist auch unter Berücksichtigung des Umstands, dass das Immissionsverfahren mit der Sanierung der Gebindereinigungsanlage für die Beschwerdeführer objektiv an Bedeutung einbüsste, begründet. 2.6. Der Beschleunigungsgrundsatz richtet sich in erster Linie an die Gerichte und Behörden. Sie haben für ein zielgerichtetes Verfahren