Auch der relative Charakter der Zuschlagskriterien ruft grundsätzlich nach einer differenzierenden Bewertung (vgl. VGE III/88 vom 20. Oktober 2003 [BE.2003.00240], S. 12 f.). Im vorliegenden Fall kommt dem Kriterium "Qualität der technischen Lösung" mit einer Gewichtung von 50 % gegenüber dem Anschaffungskosten mit einer Gewichtung von 30 % eine übergeordnete Bedeutung zu. An die Prüfung der Qualitätskriterien, wie sie 164 Verwaltungsgericht 2007