3. Die Prozesskosten werden der unterliegenden Partei auferlegt (Art. 106 Abs. 1 ZPO). Hat keine Partei vollständig obsiegt, so werden die Prozesskosten nach dem Ausgang des Verfahrens verteilt (Art. 106 Abs. 2 ZPO). Bei der Rechtsverzögerungsbeschwerde gilt der Kanton bzw. die Erstinstanz als Partei i.S.v. Art. 106 ZPO (vgl. BGE 140 III 501 E. 4.1.1; BGE 139 III 471 E. 3.3).