Nach der Rechtsprechung des Bundesgerichts kann eine materiell unrichtige Verfügung nach Eintritt der Rechtskraft nur zurückgenommen werden, wenn das Interesse an der richtigen Anwendung des objektiven Rechts jenes am Vertrauensschutz überwiegt. Diesem kommt in der Regel der Vorrang zu, und die fehlerhafte Verfügung ist nicht widerrufbar, wenn durch diese ein subjektives Recht begründet worden oder die Verfügung in einem Verfahren ergangen ist, in dem die gegenüberstehenden Interessen allseitig zu prüfen und gegeneinander abzuwägen waren, oder wenn der Private von einer ihm durch die Verfügung eingeräumten Befugnis bereits Gebrauch gemacht hat. Diese Regel gilt jedoch nicht absolut;