Die in Frage stehenden Luft/Wasser-Wärmepumpen stellen ortsfeste Anlagen im Sinne von Art. 7 Abs. 7 des Bundesgesetzes über den Umweltschutz vom 7. Oktober 1983 (USG; SR 814.01) dar, bei deren Betrieb Lärmemissionen verursacht werden. Unabhängig von der bestehenden Umweltbelastung sind Emissionen in einer ersten Stufe so weit zu begrenzen, als dies technisch und betrieblich möglich und wirtschaftlich tragbar ist (sog. Vorsorgeprinzip; Art. 11 Abs. 2 USG). Darüber hinaus müssen die Anlagen in einer zweiten Stufe die festgelegten Grenzwerte für Lärm einhalten. Im vorliegenden Fall kommt Anhang 6 der Lärmschutz-Verordnung vom 15. Dezember 1986 (LSV;